用于对工艺控制需要较高等级的应用。所有装置都有一个方便的 Teach 功能，这使得能够简单的设定初始注入量、真空控制以及 I/O（输入/输出）连接。Performus VII 和 Performus VIII 都包括数字真空显示器，它添加了额外的工艺控制测量。